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Under Etch
원하는 두께보다 적게 식각되는 것.
Unipolar transistor
동작이 다수 반송자에만 의존하는 FET등의 트랜지스터.
UV Light
자외선 (Ultra Violet Light)으로 자외선에 비해 파장이 짧고 Energy Density가 큰 특징이 있어 Photolithography공정에 이용된다.
Wafer Etch
반도체 제조공정에 있어 Wafer의 어떠한 표면층을 식각하고자 할 때 화공 약품(액체, 기체)를 이용하여 식각하는 방법.
Contact
적층되어 있는 전도층들을 연결시켜 주기 위하여 절연물에 구멍을 뚫는 것을 말한다.
Flash memory
EEPROM(electrically erasable programable ROM)의 일종으로 칩 전체 혹은 블록 단위로 내장 데이터의 소거가 가능하고 기존의 EEPROM에 비해 싼 가격에 제조할 수 있는 불휘발성 기억소자이다.
Curve tracer
소자의 특성을 스크린에 나타내는 전기테스트 장치.
Etch damage
식각시 식각대상막의 아래층 막을 과도 식각하여 이상이 생기는 현상.