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VLF Hood
먼지를 없애기 위해 수직 라미나(Laminar) 에어 플로우를 갖춘 작업대.
Voltage
하전입자(결국은 전류)가 흐르도록 두 점에 걸린 힘.
X-ray Photoelectron Spectroscopy
XPS. X선이나 자외선에 의해 여기된 전자의 에너지 양을 측정하여 재료의 조성과 불순물의 분석, Sputtering을 통해 깊이 방향 분포 분석, 화학 결합 상태를 알 수 있다.
Alloy
반도체 공정에서 얼로이 스텝은 반도체와 그 상층 물질을 서로 확장시켜 그 사이에 저항성 콘택트를 형성한다.
Diode
전류를 한쪽 방향으로만 흐르게 하는 두 단자 소자. 다이오드는 반도체의 P형과 N형 지역의 교점에서 생긴다.
Arsenic/As
매몰층 형성의 디포지션에 쓰이는 N형 Dopant.
Buried layer
에피층을 키우기 직전에 P형 기관에 N+ 확산을 하는 것. 소자전류 경로에 저저항을 제공한다. 보통의 매몰층 도펀트는 안티몬이나 비소이다.