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XPS
X-ray Photoelectron Spectroscopy. X선이나 자외선에 의해 여기된 전자의 에너지 양을 측정하여 재료의 조성과 불순물의 분석, Sputtering을 통해 깊이 방향 분포 분석, 화학 결합 상태를 알 수 있다.
X-ray Photoelectron Spectroscopy
XPS. X선이나 자외선에 의해 여기된 전자의 에너지 양을 측정하여 재료의 조성과 불순물의 분석, Sputtering을 통해 깊이 방향 분포 분석, 화학 결합 상태를 알 수 있다.
XRF
X-ray Fluorescent Analyzer. Incident X-ray를 미지의 시료에 조사하여 시료내의 원소들이 방출하는 형광 X-ray의 Intensity를 측정함으로써 구성 원소들의 농도나 두께 등을 측정하는 장비
Overlay
하부와 상부 Mask층들 사이의 정렬상태.
Charge carrier
전자나 홀 등의 반도체 소자 결정에서의 전하의 운반체.
Hydrogen
수소. 에피텍시 실리콘 성장 등의 고온 반응에 운반 가스로 쓰는 기체.
Leaky
두 점에 전압이 걸렸을 때 원치 않는 전류가 흐르는 것을 말하는 데 많이 쓰이는 용어.
Anneal
웨이퍼의 응력을 풀어 소자에의 표면 영향이 줄도록 마지막으로 하는 고온처리.